在半導體、集成電路、電子元器件及航空航天領域,產品必須在惡劣溫度環境下保持高可靠性。
半導體冷熱沖擊試驗箱通過在短時間內將樣品在高溫區(如+150℃)與低溫區(如-65℃)之間快速切換,模擬器件在實際使用中可能遭遇的劇烈溫度變化,以暴露潛在的材料缺陷、焊接裂紋、分層等早期失效問題。它不僅是環境模擬設備,更是檢驗品質的關鍵。

一、三箱式結構
主流半導體冷熱沖擊試驗箱多采用三箱式結構,由上、中、下三個獨立腔體組成:
高溫區:配備高效電加熱管與循環風機,快速升溫并維持高溫穩定。
低溫區:內置復疊式制冷壓縮機與蒸發器,實現超低溫(可低至-70℃)。
樣品吊籃:位于中部,可垂直或水平移動。測試時,吊籃在高溫區與低溫區之間高速切換(轉換時間≤10秒),使樣品瞬間暴露于溫差中,實現真正的“沖擊”而非緩慢變溫。
二、制冷系統
復疊式制冷技術:
采用兩級或多級壓縮機制冷,低溫級使用R23等超低溫制冷劑,可突破單級制冷的溫度極限,實現-65℃甚至-75℃的深冷環境。
高效換熱器:
蒸發器與冷凝器采用翅片式或板式設計,提升換熱效率,縮短降溫時間。
環保制冷劑:
使用R404A、R23等環保型制冷劑,符合國際環保標準。
三、加熱系統
不銹鋼鎧裝加熱管:
分布于高溫區風道內,加熱迅速、熱慣性小,配合PID溫控,確保高溫區溫度均勻性(±1℃)。
超溫保護裝置:
獨立于主控系統的機械式或電子式超溫保護,防止失控過熱損壞樣品。
四、空氣循環系統
耐高低溫循環風機:
采用特殊軸承與電機,可在-70℃至+180℃范圍內連續運行,強制氣流循環,消除溫度梯度。
導流設計:
風道與導流板優化設計,確保高溫區與低溫區內溫度均勻性(通常≤±2℃)。
五、控制系統
高精度溫控儀表:
采用PT100鉑電阻測溫,分辨率0.1℃,控制精度±0.5℃。
可編程邏輯控制器(PLC):
預設多種沖擊程序(如-55℃+125℃,500次循環),自動執行升降溫、切換、計時等操作。
觸摸屏人機界面(HMI):
實時顯示溫度曲線、運行狀態、故障報警,支持數據記錄與導出(USB/RS232)。
六、樣品吊籃與驅動系統
耐高溫鋁合金吊籃:
輕質、高導熱,確保樣品快速達到目標溫度。
伺服電機或氣動驅動:
驅動吊籃在高低溫區間高速、平穩切換,定位精準,重復性好。
密封設計:
吊籃與腔體間采用多層密封結構,防止冷熱氣流串擾,保證溫度恢復時間(≤5分鐘)。